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2019/07/05

＜トピックス＞グローバルスタンダードテクノロジー、ウエハースクラバー市場１位

  • グローバルスタンダードテクノロジー、ウエハースクラバー市場１位

◆日本、中国、台湾などに装備輸出◆

　半導体製造において不要な部分を除去する食刻、薄い膜を基板上に付着させる蒸着は必須だが、この過程で有害な腐食性ガスが発生する。これを浄化する装置がスクラバー（ブラシ洗浄装置）だ。


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